真空計可分為真空計和相對真空計兩大類(lèi)。凡能從其本身測得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接計算出氣體壓力的稱(chēng)真空計，這種真空計測量精度較高，主要用作基準量具。相對真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性（如熱傳導、電離、粘滯性和應變等）與壓力的關(guān)系間接測量，其測量精度較低，而且測量結果還與被測氣體種類(lèi)和成分有關(guān)。因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力，使用方便，在實(shí)際應用中占絕大多數。真空技術(shù)需要測量的壓力范圍為105～10-11帕，甚至更小，寬達16個(gè)數量級以上，尚無(wú)一種真空計能適用于從粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到*真空（小于10-10帕）的全范圍測量，因而有多種真空計。常見(jiàn)的有U形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計。
U形管真空計，用以測量粗真空和低真空的真空計。在U字形的玻璃管中充以工作液（低蒸氣壓的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大氣），另一端接被測真空系統。根據兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統的壓力。
壓縮式真空計，又稱(chēng)麥克勞真空計，是一種測量低真空和高真空的真空計。這種真空計一般用硬質(zhì)玻璃制成。A是一根與被測真空系統相連接的開(kāi)管，D、B為內徑相同的毛細管，V為球泡，其體積遠大于毛細管。測量時(shí)，通過(guò)活塞2抽真空，然后用活塞1充氣，使汞儲存器C中的汞上升到覆沒(méi)交叉口ΜΜ′，則D、V和B、A內的氣體被隔成兩個(gè)區域。再充氣繼續提高汞液面，D、V內的氣體則進(jìn)一步被壓縮，壓力增高。這樣D、B間存在的壓差可由汞柱高度差來(lái)表示。玻璃容器的體積和毛細管的高度是可精確測出的，所以用玻意耳定律即可算出被測壓力。測量精度較高，在10-3帕時(shí)的精度小于或等于5%。
電阻真空計，又稱(chēng)皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規管和測量線(xiàn)路兩部分組成。電阻式規管是在管殼內封裝著(zhù)一條電阻溫度系數較大的電阻絲，常用的為鎢或鉑絲。測量時(shí)，規管與被測真空系統相接，用一定的電壓、電流加熱電阻絲，其表面溫度可用電阻值來(lái)反映，且與周?chē)臍怏w分子的熱傳導有關(guān)，而氣體分子的熱傳導又與壓力有關(guān)。當被測壓力降低時(shí)，由氣體分子傳走的熱量減小，電阻絲表面溫度就增高，電阻值增大；反之，電阻值減小。因此根據電阻值的大小就可測量出壓力。
熱陰極電離真空計，通稱(chēng)電離真空計，主要用于高真空測量。它是由圓筒式熱陰極電離規管和測量線(xiàn)路兩部分組成。這種規管與三極電子管相似，有 3個(gè)電極：陰極（燈絲）、螺旋形柵極（加速極）和圓筒形收集極。測量時(shí)，規管與被測真空系統相連。通電后，熱陰極發(fā)射電子，在飛向帶正電位的加速極的路程中與管內空間的低壓氣體分子碰撞，使氣體分子電離。電離所產(chǎn)生的電子和離子，分別在加速極和收集極（帶負電位）上形成電子流Ie和離子流Ii。在被測氣體壓力低于10-1帕的狀況下，當電子流Ie恒定時(shí)，離子流Ii與被測真空系統中的氣體分子密度（亦即壓力p）成正比。因此，離子流的大小就可作為壓力的度量。這種真空計的測量范圍為10-1～10-5帕。
此外，還有測量上限能達102帕以上的高壓力電離真空計。這種電離真空計在工作時(shí)，陰極發(fā)射的電子撞擊加速極時(shí)產(chǎn)生軟性 X射線(xiàn)，照射到收集極上時(shí)便引起收集極的光電子發(fā)射，因而就在離子流測量回路中增加一個(gè)與被測壓力無(wú)關(guān)的剩余光電流IX，限制測量下限的擴展。為了減少這種軟 X射線(xiàn)對收集極的影響，人們又研制出BA式電離規管。它是將收集極改為針形，并與陰極的位置對換，這樣使光電流IX大為減少，使壓力測量下限從10-5帕擴展到10-8帕左右，從而解決了超高真空測量的問(wèn)題。
冷陰極電離真空計，一種測量高真空的相對真空計。它由電離規管和測量線(xiàn)路兩部分組成。規管一般由兩塊平行的陰極、一個(gè)環(huán)形的陽(yáng)極和產(chǎn)生磁場(chǎng)的磁鋼構成。在電極之間加有高壓直流電場(chǎng)，而整個(gè)規管的電極系統又置于垂直電極平面的磁場(chǎng)中。在正交電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下，由低壓氣體分子電離產(chǎn)生的放電電流是被測壓力的函數，所以放電電流的大小可作為壓力的度量。
